配方化學品 

蝕刻/灰化殘留物去除劑/光阻剝離劑及特種蝕刻劑 

Purchem 的專利配方 ASC-01、ASC-02 和 ASC-03 是基於水性和半水性的化學品,具有無 HDA 組成,能達到 20 奈米的精度。

我們的尖端技術為鋁/銅 BEOL 的蝕刻/灰燼殘留物去除、光阻剝離以及選擇性濕蝕刻過程提供最佳解決方案。 

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